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一种非平衡磁控溅射稀土类石墨复合膜及其制备方法

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明公开的一种非平衡磁控溅射稀土类石墨复合膜，由依次复合的等离子渗金属层、Cr/RE过渡层、C/Cr-RE梯度层及C/Cr-RE复合层组成；其中，Cr/RE过渡层按照质量百分比其组成为：RE：0.1％～1％，余量为Cr，各组分的质量百分比之和为100％；C/Cr-RE复合层按照质量百分比其组成为：Cr：3％～20％，RE：0.3％～10％，余量为C，各组分的质量百分比之和为100％。本发...
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